美国Tiger Optics公司推出的T-I MAX系列连续排放污染物（CEMs）痕量气体分析仪，采用连续光腔衰荡光谱（CW-CRDS）技术，可以ppb级的超高灵敏度测量烟气中氨气（NH3）、氟化氢（HF）、氯化氢（HCl）、硫化氢（H2S）、一氧化碳（CO）和甲烷（CH4）等连续排放的污染物气体浓度，即使在不断变化的环境条件下可以维持高度的线性、精确度和准确性，并且能在非常长的使用周期内几乎不需要校准。Tiger Optics T-I MAX X2/X3 是基于 Tiger Optics 新的多光谱平台开发的下一代空气分子污染物（AMC）监测仪，该仪器主要用于半导体洁净室、生物制药等领域。经过TigerOptics公司改进的连续光腔衰荡光谱技术（CW-CRDS），使用性价比更高、功耗更低、分辨率更高的连续光二极管激光器，能够大大提高光腔耦合效率，快速重复测量周期。

优势特点

应用CW-CRDS“绝对”测量技术，无需标气校准

高精确度和灵敏度，无漂移

ppt级超低检测限

快速响应，对环境温度变化不敏感

直观的用户界面，易于使用，快速清理，

低成本，免维护

应用可追溯到世界领先的参考实验室

性能

精密度（1σ @100s，取大值）： ± 0.5% 或 最低检测限 的 1/3

精准度：读数的 ± 4

(T10/90 + T90/10)

环境条件： 10°C 至 40°C，10% 至 90% 相对湿度（非冷凝）

样品条件： 20°C 时的相对湿度为 30% 至 70% ，25°C 时的相对湿度为 20% 至 50% ，30°C 时的相对湿度为 15% 至 40%

存储温度：-10°C 至 50°C

气体处理系统和条件

湿润材料： 针对ppt级AMC和快速响应速度进行了优化

气体接头： 1/4" PFA 世伟洛克® 进、出口

入口压力： 大气压力

出口压力： 真空（<10 托）

流速： ~3 slpm@1 atm

样品气体： 洁净室空气、CDA 或 N2

参数